螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低無油污染等優點。一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替，干式無油、清潔環保的螺桿真空泵是往復泵、水環泵、滑閥真空泵、旋片真空泵、及羅茨機組的更新換代產品。螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉子與泵體組成的一個工作室，轉子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙兩個轉子與泵體之間形成了密封腔，當轉子旋轉時把密封腔內的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。